感應熔煉(liàn) 的步驟有(you)用前檢查(cha)單晶爐、試(shi)用單晶爐(lu)、單晶爐正(zheng)式工作、熔(rong)煉産品抽(chōu)檢、調整測(cè)試、使用單(dān)晶爐完成(cheng)後安全斷(duàn)電，這些步(bù)驟都不可(kě)以省略。
    在(zai)感應熔煉(lian)之前應當(dang)檢查好設(shè)備，看看有(you)沒有明顯(xiǎn)損壞的零(líng)部件，然後(hou)根據說明(ming)書的要求(qiú)來操作試(shì)用，如果經(jing)過試用工(gōng)作正常，就(jiù)可以開始(shi)正式生産(chǎn)了，但是生(sheng)産的過程(chéng)中也要不(bú)斷地檢查(chá)下産品，看(kàn)産品的某(mou)些指标是(shi)否達标，産(chan)品質量是(shì)否合格，如(ru)果指标不(bu)達标、質量(liàng)不合格就(jiù)要調整下(xia)機器，直到(dào)熔煉的産(chan)品的品質(zhi)達到要求(qiú)爲止。

    常(cháng)見的單晶(jīng)爐故障有(you)晶棒晃動(dòng)，單晶爐晶(jing)棒晃動機(ji)器仍然可(ke)以正常運(yùn)轉，但是生(shēng)産效率低(dī)，感應熔煉(liàn)的産品質(zhi)量差所以(yǐ)爲了提高(gao)感應熔煉(lian)的效率和(hé)質量，不能(néng)盲目的熔(rong)煉，一定要(yào)對單晶爐(lu)進行檢查(chá)。晶棒晃動(dong)要檢查一(yī)下提拉頭(tóu)、冷卻系統(tǒng)和真空系(xi)統。如果是(shi)提拉頭出(chu)現問題，就(jiu)要維修調(diao)整下減速(sù)機構或旋(xuán)轉機構。如(rú)果是冷卻(que)系統和真(zhēn)空系統出(chu)現問題，需(xū)要調整一(yī)下矽料和(he)重錘結構(gòu)。如果檢查(cha)這些地方(fang)沒有問題(ti)，看一下氩(ya)氣等惰性(xìng)氣體是否(fou)在爐内流(liú)動，氩氣在(zai)爐内流動(dòng)的話，就需(xu)要改裝一(yī)下單晶爐(lú)了，保證單(dān)晶爐熱場(chǎng)分布均勻(yún)。
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