首先(xian)在單晶爐(lú)作業前，要(yào)做好準備(bèi)工作，然後(hou)開始進行(háng)熱态檢漏(lou)，檢漏的要(yao)求在3分鍾(zhōng)以上，同時(shí)要做好記(jì)錄。接下來(lái)将單晶和(hé)籽晶取出(chū)，冷卻後要(yao)對單晶進(jin)行參數檢(jiǎn)測，同樣需(xu)要做好記(jì)錄。接着将(jiāng)石墨件取(qu)出做好冷(lěng)卻工作，之(zhī)後要對進(jìn)行重量檢(jiǎn)測并做記(jì)錄。然後在(zài)通過真空(kōng)過濾器來(lái)進行清洗(xi)，真空泵油(yóu)的檢查更(geng)換。完成以(yǐ)上步驟，就(jiù)要開始對(duì)石墨，單晶(jing)爐的室内(nei)進行清洗(xǐ)了，知道确(que)認沒有污(wu)物爲止。接(jiē)下來就是(shi)對石墨的(de)，石英坩埚(guo)，籽晶進行(hang)安裝，然後(hòu)進行抽空(kōng)繼續檢漏(lou)。最後引晶(jing)，縮頸，放肩(jian)，轉肩，然後(hou)等徑生長(zhǎng)。最後單晶(jīng)爐 就進入(ru)收尾工作(zuò)了。