真空爐系(xi)統中的油(you)擴散泵是(shì)靠高速蒸(zhēng)汽射流來(lái)攜帶氣體(ti)以達到抽(chōu)氣的目的(de)，它工作在(zài)高真空區(qu)域，其工作(zuo)壓強範圍(wei)爲10-2～10-6pa。油蒸汽(qì)從傘形噴(pēn)咀(如I級噴(pēn)咀)以超音(yīn)速噴出後(hou)，其速度逐(zhu)漸增大，壓(ya)力及密度(dù)逐漸降低(di)。

    1．概述 油擴(kuo)散泵的工(gong)作原理與(yǔ)水蒸汽噴(pen)射泵相似(sì)，都是靠高(gao)速蒸汽射(she)流來攜帶(dài)氣體以達(dá)到抽氣的(de)目的，故有(yǒu)如水蒸汽(qì)噴射泵相(xiàng)似的特點(dian)。不同點是(shì)擴散泵工(gōng)作在高真(zhen)空區域，其(qi)工作壓強(qiang)範圍爲10-2～10-6pa。廣(guang)泛用于電(diàn)子、化工、冶(ye)金、機械、石(shi)油及原子(zǐ)能等工業(ye)部門中。

    2．油(you)擴散泵的(de)工作原理(lǐ)與結構

    當(dāng)油蒸汽從(cóng)傘形噴咀(ju)(如I級噴咀(jǔ))以超音速(sù)噴出後，其(qí)速度逐漸(jian)增大，壓力(li)及密度逐(zhú)漸降低，射(she)流上邊的(de)被抽氣體(ti)A因密度差(chà)要向蒸汽(qì)射流中擴(kuo)散并被射(she)流攜帶到(dao)水冷的泵(beng)壁處B，在B處(chu)，工作蒸汽(qì)大部分被(bèi)冷凝成油(yóu)滴沿泵壁(bi)流回到油(you)鍋中循環(huán)使用，而被(bei)抽氣體在(zai)B處堆積、壓(yā)縮，最後被(bèi)下級射流(liú)攜帶走，以(yi)達到逐級(ji)壓縮，最後(hou)被前級泵(beng)抽走。