高溫(wen)真空爐在現(xiàn)代工業中應(ying)用于很多場(chǎng)合,如藍寶石(shí)晶體生長爐(lú)、高溫燒結爐(lú)等。藍寶石晶(jing)體生長爐通(tōng)過對溫度的(de)精确控制來(lai)實現從晶體(ti)化料、引晶(或(huò)将籽晶熔化(hua)到合适的範(fàn)圍)、長晶、退貨(huo)冷卻的各個(gè)過程控制,晶(jing)體隻有按合(he)适的冷卻速(su)度進行冷卻(que)結晶,才能長(zhǎng)出高質量的(de)藍寶石晶體(ti)。高溫燒結爐(lu)要通過對溫(wēn)度的較爲準(zhun)确的控制,才(cái)能燒結出高(gao)質量的、穩定(ding)的燒結産品(pin)。因此,高溫真(zhēn)空爐的爐溫(wēn)測量、監控是(shi)控制産品質(zhi)量的重要手(shou)段。而在自動(dòng)化生産的情(qing)況下,且溫度(du)的控制精确(que)度要求較高(gāo)時,則要求能(néng)對溫度進行(háng)長時間連續(xù)準确的測量(liàng),以實現對溫(wēn)度的實時控(kong)制。高溫真空(kōng)環境下的長(zhang)時間連續準(zhǔn)确測量,是一(yi)個行業難題(tí),目前爲止還(hái)沒有發現這(zhè)方面的實際(jì)應用。
以藍寶(bao)石晶體生長(zhǎng)爐爲例,藍寶(bǎo)石晶體生長(zhǎng)爐是一種用(yong)于藍寶石單(dān)晶生長的常(cháng)用設備,通常(chang)包括坩埚、加(jiā)熱器、金屬保(bǎo)溫瓶等,加熱(re)器通電以後(hòu),将在坩埚外(wài)部形成溫度(du)場,溫度場對(dui)坩埚進行加(jia)熱。泡生法藍(lan)寶石單晶聲(shēng)場中,加熱溫(wēn)度的變化對(duì)晶體的生長(zhang)影響很大,合(hé)适的引晶溫(wēn)度、合理的降(jiang)溫控制程序(xù)都有利于提(tí)高晶體生長(zhǎng)質量,晶體生(sheng)長速率會随(sui)加熱溫度的(de)降低而快速(sù)增加。制定适(shi)合晶體生長(zhǎng)的降溫程序(xù),沒有一定的(de)溫度測量技(jì)術做參考,晶(jīng)體品質很難(nán)保證。因此,一(yi)般采用紅外(wài)測量技術做(zuò)參考,晶體品(pin)質很難保證(zheng)。因此,一般采(cai)用紅外測溫(wen)儀測量坩埚(guō)的溫度,以獲(huo)得較爲準确(que)的測量溫度(dù)值。但是,在藍(lán)寶石單晶生(shēng)長過程中,藍(lán)寶石單晶爐(lú)的溫度較高(gao),;安保室晶體(tǐ)以及熱場的(de)金屬揮發物(wu)容易凝結在(zài)溫度較低的(de)測溫玻璃表(biao)面,遮擋紅外(wài)測溫儀有效(xiao)測量用光波(bō),使紅外測溫(wēn)儀讀數失真(zhen)。爲提高溫度(dù)測量的準确(que)性,目前通常(cháng)采用少量惰(duo)性氣體吹掃(sao)測溫玻璃法(fǎ)。