單(dan)晶棒等徑控(kong)制是單晶爐(lu) 控制的重點(dian)。單晶直徑在(zài)生長過程中(zhong)課受到溫度(dù)、提拉速度與(yǔ)轉速、坩埚跟(gen)蹤速度與轉(zhuǎn)速、生長物理(li)環境、保護氣(qi)體的流速與(yu)溫度、冷卻水(shui)流的流速與(yu)溫度等因素(sù)的影響。歸納(na)起來，無外乎(hū)是熱場波動(dong)和生長速度(du)變化兩大類(lei)。因此，爐内熱(re)場設置，生長(zhang)溫度補償、速(su)度等參數選(xuan)配是控制單(dān)晶外形的基(jī)本條件，爐内(nei)熱場和生長(zhǎng)速度的精确(que)控制是單晶(jing)等徑控制的(de)重點。由于影(yǐng)響單晶等徑(jing)生長的因素(su)較多，控制對(dui)象數學模型(xíng)難以建立，且(qiě)這些因素本(ben)身以及它們(men)之間的關系(xì)是模糊的、不(bú)确定的。系統(tong)具有非線性(xìng)、時變性和大(da)慣性的特征(zhēng)。因而，單晶爐(lu)單晶等徑生(sheng)長控制采用(yong)模糊控制策(ce)略是比較合(he)适的。

    單晶等(deng)徑生長在忽(hu)略一些幹擾(rǎo)因素影響情(qíng)況下，主要受(shou)溫度和拉速(su)影響。如果恒(héng)定溫度而僅(jǐn)從生長速度(du)控制直徑，外(wài)形固然可以(yi)得到快速保(bǎo)證，但生長速(sù)度的大幅度(dù)調節會造成(cheng)單晶微觀質(zhì)量缺陷。反之(zhī)，如果恒定速(sù)度而僅從溫(wen)度調節來控(kòng)制直徑，由于(yú)這種控制系(xì)統是一個緩(huan)慢時變，并且(qiě)具有确定性(xìng)擾動和随機(jī)幹擾的非最(zui)小相位系統(tong)，用一般常規(gui)儀表控制手(shǒu)段來實現自(zi)動控徑極爲(wei)困難。隻有對(duì)溫度和生長(zhang)速度進行綜(zong)合控制，才能(neng)完成等徑自(zì)動控制。