單晶(jing)爐在運作過(guò)程中因爲一(yī)直都會處于(yú)高溫的狀态(tài)下，對其他的(de)零部件要求(qiu)高且嚴格，因(yīn)爲需要維持(chí)長時間的工(gong)作，所以需要(yào)特别注意定(dìng)期進行必要(yao)的維護保養(yǎng)。
1、坩埚驅動裝(zhuang)置要求的運(yùn)動精度比較(jiào)高，是設備的(de)核心運動部(bù)件，應重點維(wei)護。坩埚軸是(shi)石墨坩埚的(de)支撐軸，應随(suí)時檢查其冷(leng)卻水的情況(kuang)，以免燒損。
坩(gān)埚驅動采用(yong)滾珠絲杠和(he)直線導軌結(jié)構，是坩埚驅(qu)動的關鍵部(bù)件，需保持清(qīng)潔，嚴禁灰塵(chén)、雜物附着，并(bìng)定期塗抹潤(run)滑脂。
籽(zǐ)晶旋轉及提(ti)升機構也是(shi)單晶爐的關(guān)鍵部件，該部(bù)件運行的好(hao)壞直接影響(xiǎng)單晶的生長(zhǎng)。因此，也須重(zhong)點維護。
卷輪(lún)箱是籽晶提(tí)升的核心，卷(juan)輪箱内的零(líng)件一般情況(kuàng)下不得随意(yi)拆除，必須拆(chai)除時，重新安(ān)裝時必須保(bǎo)證軟軸對中(zhōng)。軟軸鋼絲繩(sheng)在使用中不(bu)準有死彎現(xian)象，并在每次(ci)開爐時檢查(cha)鋼絲繩是否(fou)燒損，如有燒(shao)損應及時修(xiū)整或更換新(xin)的鋼絲繩。
除(chú)了上面的兩(liǎng)點之外，在每(měi)次開爐前應(ying)檢查水路系(xì)統是否暢通(tong)，水溫檢測傳(chuan)感器安裝是(shì)否正常。發現(xian)有結垢時應(ying)及時清理。在(zai)拉晶過程中(zhong)，若發現水壓(ya)報警或漏水(shui)時要及時采(cǎi)取措施。真空(kōng)管道的過濾(lü)網每爐要清(qing)理一次，抽氣(qì)管道每20～30爐清(qing)理一次。
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