現有(you)加熱電源(yuan)存在的問(wèn)題：

    盡管我(wo)國晶體生(sheng)長設備的(de)自動化程(chéng)度有了很(hen)大提高，但(dan)是在常規(gui)的直拉法(fa)溫度控制(zhì)環節的設(she)計上還存(cún)在以下問(wen)題：

    (1)加熱電(diàn)源的智能(neng)化程度不(bú)高。純模拟(ni)電路構成(cheng)，單閉環控(kòng)制，自動化(huà)程度偏低(di)，功率的調(diao)節常滞後(hou)于系統對(dui)溫度的實(shi)際要求。

    (2)溫(wēn)度需要手(shou)動調節。該(gāi)設備在運(yùn)行過程當(dang)中不能完(wan)全做到無(wú)人值守，對(dui)于引徑、放(fàng)肩及熔料(liào)過程的溫(wen)度控制還(hái)需要工作(zuò)人員通過(guò)電源櫃的(de)旋鈕手動(dong)調節輸出(chū)值，等徑生(sheng)長過程的(de)實際控溫(wen)精度與理(lǐ)論值也有(yǒu)差距，參數(shu)的設置、調(diào)節和記錄(lu)均需要值(zhi)守人員參(can)與完成。

    單(dān)晶爐改進(jin)方案：

    裝置(zhì)采用模塊(kuai)化設計，微(wēi)機控制，内(nei)置自适應(ying)能力較強(qiáng)的模糊PID控(kong)制算法，具(ju)有控制參(cān)數自動調(diao)節、顯示，可(ke)通過按鍵(jiàn)設定初值(zhí)，系統異常(chang)可自動聲(shēng)光告警等(děng)新功能，即(ji)從整體上(shang)提高溫控(kòng)系統的智(zhì)能化程度(du)和控制精(jīng)度，加快參(cān)數調節的(de)響應速度(dù)，使整個生(sheng)産過程中(zhong)爐溫的變(biàn)化能快速(su)平滑地跟(gēn)随工藝曲(qu)線變化，裝(zhuang)置通用性(xing)強，操作上(shang)更加簡單(dan)、可靠。

    單晶(jing)爐 主要技(jì)術指标：

    單(dān)晶爐加熱(re)電源是一(yī)種大功率(lǜ)直流電源(yuan)，要求輸出(chu)功率lOOkW，輸出(chū)電壓爲0-5V可(kě)調，輸出電(diàn)流爲0-3000A；其輸(shū)出的能量(liàng)可直接爲(wèi)單晶爐内(nèi)的石墨加(jiā)熱器供熱(rè)，加熱溫度(du)範圍爲o～2000℃，控(kòng)溫精度要(yao)求達到±5℃；各(gè)種信号可(kě)自動檢測(ce)、顯示，參數(shu)的修改和(he)設定可通(tōng)過按鍵進(jin)行，以此來(lai)滿足單晶(jing)矽在生長(zhǎng)階段對溫(wēn)度的嚴格(gé)要求。