在 單晶(jīng)爐 中可以進行(hang)一些操作,如果(guo)把高純度的多(duo)晶矽原料放在(zai)高純度的石英(yīng)坩埚中,通過加(jiā)熱器的作用,就(jiu)會産生高溫,這(zhè)樣就會把它熔(rong)化。如果對熔化(huà)的矽液進行降(jiang)溫處理,就會産(chan)生一定程度的(de)過冷度,然後再(zài)使用一個矽單(dan)晶體插在熔體(tǐ)的表面,需要使(shi)用固定在籽晶(jing)軸上的矽單晶(jing)體。可以等這籽(zi)晶可以和熔體(ti)相融合之後,然(rán)後慢慢的往上(shang)拉動籽晶。然後(hòu)晶體就會在慢(màn)慢的生長,可以(yi)生長成爲直徑(jìng)3至5毫米的細頸(jing)。
這個細頸可以(yǐ)消除高溫溶液(ye)産生的強烈的(de)沖擊作用,這樣(yang)就會形成一個(ge)錯位,這個過程(chéng)就是引晶。然後(hòu)可以把晶體的(de)直徑放大,将其(qí)放大到工藝所(suǒ)要求的大小就(jiù)可以,一般來說(shuō),這個長度是75至(zhì)300毫米,專業術語(yǔ)則可以把它稱(chēng)爲放肩。如果突(tu)然将拉速提高(gao)的話,使肩部形(xing)成一個直角。然(rán)後單晶爐就會(hui)進入等徑工藝(yi),通過對熱場溫(wen)度和晶體來提(ti)升下速度,這樣(yàng)就會生成一定(dìng)大小的單晶柱(zhu)體。
如果很多矽(xī)溶液已經完成(chéng)了結晶,就可以(yǐ)把晶體慢慢的(de)縮小,直到縮小(xiǎo)爲一個尾形的(de)椎體就可以了(le),一般這個尾形(xíng)椎體也被稱爲(wei)收尾工藝。這樣(yang)就可以把單晶(jīng)的拉制過程完(wán)成操作,然後再(zai)經過一定的保(bǎo)溫冷卻就可以(yǐ)将其取出來了(le)。
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